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此时必须首先安排好产品生产区与个产辅助区动力公用设施区的合理布局,通常是顺应产品的生产工艺流程,在确保产品生产环境要求的情况下做到有利于产品生产的操作、管理,有利于节约能源、降低生产成本。在进行洁净室净化工程的平面布局时必须符合的现行规范中有关生产、消防、环保和职业卫生方面的各种要求;在进行洁净室净化工程平面布局时应充分考虑、物流的安排.尽力做到短捷、流畅。在空间设计时应分考虑产品生产过程和洁洁净室净化工程内各种管线、物流运输的合理安排。在确定洁净厂房的平面、空间布置后,对洁净室净化工程设计涉及的各个专业提出设计内容、技术要求及设计中应注意的相关问题。洁净室净化工程设计是一项相关专业综合完成的设计技术。
它与一般工业厂房设计有类似之处但也有独特之处,其主要的特点如下。(1)、根据洁净室净化工程拟生产的产品的门类、品种或使用情况,确定所设计洁净室净化工程的控制对象及技术要求。如对生物洁净室净化工程,其控制对象是空气中的尘粒、微生物;面不同产品或用途的生物洁净室净化工程,对空气洁净度等级、空气中含有的微生物种类和浓度、压差等的要求是不问的。又如集成电路生产用洁净室净化工程.其控制对象主要是空气中的尘粒;按集成电路的特征尺寸、集成度的不同,对空气洁净度等级、防微振、高纯物质等的要求是不同的,应按照具体工厂的产品品种确定。(2)、为确保洁净室净化工程内所必须的空气洁净度,洁净室净化工程设计中涉及到的各个专业设计均应采取妥善的、可靠的技术措施。
以减少或防止室内产尘、滋生微生物,减少或阻止将微粒微生物或可能会造成交叉污染的物料带人洁净室净化工程内,有效地将室内的微粒微生物排出,以减少或防止它们滞留洁净室净化工程内。对于因尘粒脆生物或物料的交叉污染会危害产品雨量或人身时.还应采取、可靠的技术措施防让交叉污染,如严格控制不同用选的洁净室净化工程之间的静压差,按要求合理地划分净化空调系统以及回风系统的妥善设计等。(3)、洁净室净化工程设计是各专业设计技术的综合,尤其是洁净室净化工程的工艺设计、空气净化设计和各种特殊要求的设计技术的密切协同、相互渗透和合理安排的综合设计。洁净室净化工程设计应做到顺应工艺(或使用)流程、合理选择各类设备和装置、尽力实现和物流的顺畅短捷、气流流型选样得当、净化空调系统配置合理、各种特殊要求的技术措施得当。
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在无尘车间内安装和更换过滤器方便的优点,过滤器采用机械压紧或液槽密封装置,确保风口安装无泄露,密封可靠,净化效果好,对一般净化工程均可适用。传递窗主要适用于洁净区与非洁净区之间,或无尘车间与无尘车间之间的小货物传递,可有效的减少无尘车间门的开启次数,把洁净区的污染减少的低程度。根据使用要求,传递窗箱体表面可喷塑,内胆可用不锈钢,外表美观。传递窗的两扇门采用电控连锁或机械连锁装置,可有效的防止低洁净等级区内的灰尘带入高洁净区内,是净化车间必备佳品。通风拄井是通过由彩钢板安装而形成的通风管道。一般设置于洁净去内,其上可安装通风口,通过设计使洁净区内气流布置合理,经常别回风系统和排风系统采用。结构形式上有三角行柱和方形柱两种
控制无尘车间空气参数的目的—检查无尘车间是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的无尘车间检测阶段,还是无尘车间使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了无尘车间空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。在无尘车间内,按其用途的不同应控制下列参数:测试状态的确定;空气中粒子的浓度;气流的风速和单向性(对单向气流而言);风量和换气次数;终过滤器的整体性;空气温度和湿度;无尘车间的密闭性;无尘车间表面的洁净度;测试状态的确定:根据设计要求,一般无尘车间都是对无尘车间内的空气进行静态检测。一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。
无尘车间实验室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。无尘车间系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。无尘车间内的气流是左右洁净室性能的重要因素,一般洁净室的气流速度是选在0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加。
避免将工作区以外的污染带入工作区;尽量防止灰尘的二次飞扬以减少灰尘对工件的污染机会;工作区的气流要尽量均匀,且其风速要满足工艺和卫生要求,当气流向回风口流动时要使空气中的灰尘能有效的带走。根据不同的洁净度要求,选择不同的送、回风方式。要保证送风洁净度符合要求,关键是净化系统末级过滤器的性能和安装。要保证送风洁净度,仅有合格的过滤器是不够的,还要保证。净化车间工程要获得良好的洁净效果,不仅要着重采取合理的空调净化措施,而且也要求工艺、建筑及其他专业采取相应的措施:不但要有合理的设计,而且还要精心的符合规范的施工安装,以及正确的使用净化车间和科学的维护管理。为使洁净室获得良好的效果,国内外已有不少文献从不同的角度作过阐述。
净化工程中实际上,不同专业之间很难做到理想地配合,而且设计者很难把握施工安装质量以及使用和管理情况,尤其后者。就净化车间净化措施而言,许多设计者,或者还有施工方,往往对其必要条件未予足够重视,造成洁净效果不理想。本文仅就净化车间净化措施中达到洁净度要求的四个必要条件简要论述。要做到第a,则要求施工安装人员训练有素,既要有安装净化系统方面的知识,又要具备较熟练的安装技能,否则将难以保证不损坏过滤器,这方面是有深刻教训的。其次,安装严密性问题,主要取决于安装结构型式优劣,设计手册,一般:对于单个过滤器采用明装型式,这样即便发生渗漏,也不致漏到室内;采用成品送风口,严密性也比较容易得到保证。对于多个过滤器的风□,近几年常采用液槽密封和负压密封。液槽密封必须保证液槽接缝严密和整体框架都处于同一水平面上。负压密封就是使过滤器与静压箱和框架接缝的外周边处于负压状态,与明装型式一样即使渗漏也不会漏到室内。
净化系统末级过滤器一般采用过滤器或亚过滤器。这里每个净化度级别似乎都有两类过滤器可供选择,选择高性能的还是低性能的,要视具体情况而定:当环境污染严重,或室内排风比例很大,或该净化车间特别重要,需要较大系数,在这些或其中之一情况下,均要选择高一类过滤器;反之可选择较低性能过滤器。对0.1μm粒子要求控制的净化车间,不论控制的粒子浓度高低均要选择D类过滤器。以上所述仅从过滤器角度出发,实际上要选择好过滤器还要考虑净化车间特性、过滤器特性和净化系统特。净化车间工程的气流组织与一般空调房间有所不同,它要求将干净的空气首先送到操作部位,它的作用在于限制和减少对加工物的污染。为此,在设计气流组织时应考虑这些原则:尽量减少涡流。
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